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基板处理装置、负载锁定室单元和搬送装置的搬出方法
| 专利名称： | 基板处理装置、负载锁定室单元和搬送装置的搬出方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置(1)，不受设置搬送室内搬送装置 场所高度的限制而将其搬出基板处理装置外面，其包括：真空中对基 板S实施规定处理的处理室(10a～10c)；与处理室相连接，保持在真 空中并具有搬送基板S的搬送装置(50)的搬送室(20)；和设置在搬 送室(20)和大气侧基板收容室(40)之间的负载锁定室(30)，其中， 在负载锁定室(30)下方具有空间(310)，搬送装置(50)可分成上 部结构(500A)和下部结构(500B)，上部结构(500A)可从搬送室 (20)上方搬出到基 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 中込阳一;中山秀树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610128924.5 |
| 公开号： | CN1924660 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | G02F1/1333(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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