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基板搬送装置和配置有这种基板搬送装置的真空处理装置
| 专利名称： | 基板搬送装置和配置有这种基板搬送装置的真空处理装置 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种能够使搬送动作简单化、从而能够在短时间里进 入至搬送作业状态的基板搬送装置。真空处理装置(100)由真空预备加热腔 室(10)和等离子体处理腔室(20)连接构成，在真空预备加热腔室(10)内的 上下两个部分处配置着基板搬送装置(11、13)，而且在等离子体处理腔室 (20)内设置有基板搬送装置(21)。基板搬送装置(11、13、21)可以分别绕 状态切换轴(T1、T2、T3)转动，以位于水平位置和倾斜位置处。当被处理基 板需要由基板搬送装置(11)搬送至基板搬送装置(21)处 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社岛津制作所 |
| 发明人： | 田口竜大 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-08-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510090328.8 |
| 公开号： | CN1754795 |
| 代理机构： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 分类号： | B65G49/07(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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