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基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置
| 专利名称： | 基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉(1)的突起量(9)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社安川电机 |
| 发明人： | 古田诚;仲子透;山崎哲也 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110340266.7 |
| 公开号： | CN102468204A |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
| 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本福冈县 |
| 主权项： | 一种基板搬送用手，其包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，所述吸附部包括：吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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