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原文传递基板搬送装置

专利名称：	基板搬送装置
摘要：	本发明提供一种基板搬送装置，接近地具有支撑基板、并沿着水平方向搬送的多个搬送臂，各个搬送臂，从平面观察，配置成在相对于处理单元或者基板收容盒搬入搬出基板时的搬送路径重合，各个搬送臂能够各自独立地沿着上下方向移动，而且，能够不相互干涉地沿着上下方向超越，根据本发明，在具有多个搬送臂的搬送装置中，能够提高各个搬送臂的自由度，提高基板的搬送效率。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	清田健司
专利状态：	有效
申请日期：	2006-07-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610101594.0
公开号：	CN1905151
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利