原文传递
基板保持部件、基板搬送臂和基板搬送装置
| 专利名称： | 基板保持部件、基板搬送臂和基板搬送装置 |
| 摘要： | 本发明提供基板保持部件、基板搬送臂和基板搬送装置，其具备减低磨损量、防止污染、提高对准精度、防止凸出的功能。作为安装于基板搬送装置的基板搬送臂的、载置基板的周边而保持该基板的基板保持部件(4)，其具有与基板的背面抵接而保持该基板的背面保持部(5)、和与基板的端面抵接的端面抵接部(6)。端面抵接部(6)包括：具有R形状，与基板的端面抵接而限制基板的偏移的R形状部(8)；和设置在R形状部(8)的上方侧的、形成为檐状的悬突(overhang)部(81)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 中野征二;松下道明;饭田成昭;榎木田卓;森川胜洋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-04-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200880117620.6 |
| 公开号： | CN101872732A |
| 代理机构： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
| 代理人： | 龙淳;刘春成 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 主权项： | 一种基板保持部件，其安装于基板搬送装置的基板搬送臂，用于载置基板的周边而保持该基板，所述基板保持部件的特征在于，包括：与基板的背面抵接而保持该基板的背面保持部；和与基板的端面抵接的端面抵接部，其中，所述端面抵接部包括：具有倒圆形状，与所述基板的端面抵接而限制该基板的偏移的倒圆形状部；和设置在所述倒圆形状部的上方侧的、形成为檐状的悬突部。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
