详情

原文传递基板搬送装置

专利名称：	基板搬送装置
摘要：	本发明提供一种基板搬送装置，其能够不减低基板处理的生产量，在基板搬送路径上笔直的搬送基板的同时，将基板变更为倾斜姿势。辊支承机构(22) 对搬送辊(21)在围绕向着与其旋转轴(211)的纵向方向中央部垂直的方向延伸的驱动轴(23)旋转而倾斜的状态下来进行支承，从而赋予为了变更基板的倾斜姿势而各搬送辊(21)必须具有的倾斜。由多个搬送辊(21)构成的基板搬送路径并不上下动作，通过各辊支承机构(22)对各搬送辊(21)赋予的倾斜，从而能够改变搬送中的基板的倾斜姿势。
专利类型：	发明专利
申请人：	大日本网目版制造株式会社
发明人：	松本隆雄;山本悟史
专利状态：	有效
申请日期：	2006-05-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610079865.7
公开号：	CN1865097
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：	徐恕
分类号：	B65G13/00(2006.01)I
申请人地址：	日本京都府
所属类别：	发明专利