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原文传递基板搬送方法以及基板搬送装置

专利名称：	基板搬送方法以及基板搬送装置
摘要：	本发明提供一种基板搬送方法以及基板搬送装置，能够确实地防止基板搬送时的基板的带电。本发明的基板搬送方法是在除去基板(2)上的带电电荷的同时，进行基板(2)的搬送的方法，其包括：在基板(2)的表面局部形成具有导电性的导电膜(21)的工序；和由具有导电性并接地的作为基板支承部的辊子(5)支承基板(2)的导电膜(21)的形成区域，同时搬送基板(2)的工序。
专利类型：	发明专利
申请人：	精工爱普生株式会社
发明人：	小山实
专利状态：	有效
申请日期：	2006-03-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610051578.5
公开号：	CN1831597
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	汪惠民
分类号：	G02F1/1333(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利