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原文传递基板处理装置以及基板搬送装置

专利名称：	基板处理装置以及基板搬送装置
摘要：	本发明提供一种基板处理装置以及基板搬送装置，该基板搬送装置包括：在支撑有玻璃基板的状态下向处理腔室(10)内进行搬送的拾取器(52)；和驱动拾取器(52)的主驱动机构(60)，拾取器(52) 包括：基部(56b)；从基部(56b)呈分叉状延伸的多个第一支撑部件 (56a)；和能够进出退避地与第一支撑部件(56a)连接的第二支撑部件(57a)，由这些第一支撑部件(56a)和第二支撑部件(57a)构成能够伸缩的支撑部件，在支撑部件伸出的状态下搬送基板。因此，能够避免搬送室的大型化，并且
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	中山秀树;山田洋平
专利状态：	有效
申请日期：	2008-06-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810124849.4
公开号：	CN101329995
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	刘春成
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利