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基板保持件、基板搬送装置以及基板处理系统
| 专利名称： | 基板保持件、基板搬送装置以及基板处理系统 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板保持件、基板搬送装置以及基板处理系统， 即便在具有支撑基板的支撑部件的基板保持件与系统构成部件接触的 情况下也能够尽可能地避免支撑部件发生损伤。作为基板保持件的叉 部(101)，具有固定在滑动件(127)上的拾取器基部(117)；以及与 该拾取器基部(117)连接的作为支撑部件的例如四个支撑拾取器 (119)。支撑拾取器(119)具有中空角筒状的主体(131)以及能够 自由装卸地安装在主体(131)的前端的作为保护部件的帽体(133)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 驹田秀树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-12-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810185712.X |
| 公开号： | CN101450752 |
| 代理机构： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 1. 一种基板保持件，其具有基部以及互相隔开间隔连接在所述基 部上的多个支撑部件，在所述多个支撑部件上保持基板，该基板保持 件的特征在于： 所述支撑部件包括：主体；以及用于保护该主体的前端的能够装 卸的保护部件。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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