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原文传递基板吸附装置和基板搬送装置

专利名称：	基板吸附装置和基板搬送装置
摘要：	本发明提供一种基板吸附装置和基板搬送装置，其能够根据导体晶片等基板的大的弯曲、翘曲情况选择基板的上面和下面的任一面作为吸附面从而可靠地吸附保持并搬送基板。本发明的晶片吸附装置的镊子(17)包括：根据伯努利原理从上面吸附保持半导体晶片(W) 的第一吸附单元(171)，和利用外部空气的吸引从下面吸附保持半导体晶片(W)的第二吸附单元(172)。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	长坂旨俊;小笠原郁男
专利状态：	有效
申请日期：	2008-02-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810080551.8
公开号：	CN101295661
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	刘春成
分类号：	H01L21/683(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利