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基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置
| 专利名称： | 基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置 |
| 摘要： | 本发明提供基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置，该外 观检查装置具备在金属板上固定的三个吸附部组来作为基板吸附装置。 这些吸附部组在玻璃基板的搬送方向上排列配置，每个都具备三个吸附 部。这些吸附部可吸附在玻璃基板的背面上，且各设置有一个可进行倾 斜动作的吸盘。位于最中央的吸附部组的吸附部在上方配置有按压部。 按压部使辅助盘下降而将玻璃基板按压在吸附部上。这样，可抑制在基 板上施加的应力并能可靠地吸附保持基板。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 发明人： | 木内智一 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-06-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810108919.7 |
| 公开号： | CN101323396 |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 党晓林 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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