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基板搬送装置、基板搬送方法和计算机程序
| 专利名称： | 基板搬送装置、基板搬送方法和计算机程序 |
| 摘要： | 本发明提供一种能以低成本制造、且能抑制用于搬送基板的气体 的消耗量的气体浮起型的基板搬送装置。该基板搬送装置包括：形成 基板的搬送路径的搬送路径部件；在该搬送路径部件的上面、沿搬送 路径形成的排气槽；气流形成槽，在搬送路径部件的上面左右相互成 对，该对沿搬送路径设置有多个，各自随着朝向基板的搬送方向而接 近排气槽，其一端与该排气槽合流；和气体吐出孔，在该气流形成槽 的另一端穿孔而形成，用于形成向基板提供浮力、并从气流形成槽的 另一端向一端的搬送基板用的气流。来自气体吐出孔的气体向基板提 供 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 饭田成昭 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-01-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710001579.3 |
| 公开号： | CN1996567 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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