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原文传递基板搬送方法和装置

专利名称：	基板搬送方法和装置
摘要：	一种基板搬送装置(10)，包括以预定间距设置的多个搬送辊 (22A-22D)，该多个搬送辊(22A-22D)响应搬送辊(22)的旋转而搬送基板(40)。每个搬送辊(22)是大体中空圆筒状的部件，在中空圆筒状的部件的圆周上形成有多个狭缝口(24)。在防止灰尘或任何其它异物聚集在基板(40)的底面的同时，交替行的搬送辊(22)被设计成吹气到搬送中的基板(40)的底面和从搬送中的基板(40)的底面吸气。
专利类型：	发明专利
申请人：	NEC液晶技术株式会社
发明人：	长友和也
专利状态：	有效
申请日期：	2007-05-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710104122.5
公开号：	CN101074069
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	张成新
分类号：	B65G49/05(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
所属类别：	发明专利