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基板处理装置和基板搬送装置的位置对准方法
| 专利名称： | 基板处理装置和基板搬送装置的位置对准方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置及基板搬送装置的位置对准方法，该装置包括：相对处理单元的搬送口而预先确定左右方向的位置坐标的第一光学检测用标记；相对搬送口而预先确定上下方向的位置坐标的第二光学检测用标记；和设置于基板搬送装置、用于检测第一或第二光学检测用标记的光传感器。使基板搬送装置从光传感器测出第一光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始仅旋转预定的角度，使基板搬送装置从测出第二光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始在上下方向仅移动预定的移动量。使基板搬送装置与处理单元的搬送口相对后，预先获取使基板搬送装置 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 饭田成昭;伊藤和彦;木下道生 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-06-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410048760.6 |
| 公开号： | CN1574210 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙淳 |
| 分类号： | H01L21/00 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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