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搬送室、基板处理装置和基板异常的检测方法
| 专利名称： | 搬送室、基板处理装置和基板异常的检测方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够对大型FPD基板在搬送室内的位置偏移和 缺口等异常可靠地进行检测的基板处理装置和一种基板异常的检测 方法。将基板(S)载置在搬送装置(50)的滑动拾取器(513)上， 从搬送室(20)内经过闸门开口(22d)向处理腔室(10b)搬入时， 由左右配置的一对传感器(70、70)向基板(S)两端部附近的虚线 (A、B)表示的部位照射光线，根据其反射率或透过率，对基板(S) 的位置偏移和缺陷等进行检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 冈部星儿;末木英人 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610128960.1 |
| 公开号： | CN1929108 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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