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延长光刻胶溶剂的存储期限的方法和装置
| 专利名称： | 延长光刻胶溶剂的存储期限的方法和装置 |
| 摘要： | 本发明提供了一种延长光刻胶溶剂的存储期限的方法和装置，其中，所述方法包括：在光刻胶存储罐内预先放置一磁性棒，并在所述光刻胶存储罐之外设置一电磁场发生器；控制所述电磁场发生器在所述光刻胶存储罐内产生的电磁场，驱动所述磁性棒在所述光刻胶存储罐内按照预设的轨迹移动，以搅动存储在所述光刻胶存储罐内的光刻胶。所述装置包括：光刻胶存储罐、预先放置于所述光刻胶存储罐中的磁性棒以及设置于所述光刻胶存储罐之外、可通过所产生的电磁场驱动所述磁性棒在所述光刻胶存储罐中按照预设的轨迹移动的电磁场发生器。通过使用上述的方法和装置，可延长光刻胶的存储期限，降低光刻胶的损耗，降低生产成本，节约生产时间。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 发明人： | 乔辉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-10-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010518924.2 |
| 公开号： | CN102455595A |
| 代理机构： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
| 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 分类号： | G03F7/004(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |
| 主权项： | 一种延长光刻胶溶剂的存储期限的方法，其特征在于，该方法包括：在光刻胶存储罐内预先放置一磁性棒，并在所述光刻胶存储罐之外设置一电磁场发生器；控制所述电磁场发生器所产生的电磁场，驱动所述磁性棒在所述光刻胶存储罐内按照预设的轨迹移动，以搅动存储在所述光刻胶存储罐内的光刻胶。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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