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原文传递预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法

专利名称：	预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法
摘要：	本发明公开了一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法，涉及智能设备及管理技术领域。该管理系统包括进出口、设于中间位置的中央处理单元，还包括输送道、冷藏室、扫描单元和存取单元。输送道以中央处理单元为圆心向外发散设置，每条输送道上均设有可正反两个方向运输物料的传送带；冷藏室，平行于输送道分布在输送道的两侧。本发明能够对光刻胶物料的存储和取用进行更规范化、流程化的管理，整个存储和取用过程无需人工记录，避免发生光刻胶物料的混用，提升管理效果，极大程度上降低物料取用出错的可能性，降低因员工操作等因素带来的经济损失，从而提高企业生产制造良率，提高企业的盈利能力。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥芯翊信息科技有限公司
发明人：	邱崧恒;金星勋;田格;吴正清;张超;金广传;刘建斌;齐莉莉;刘慧
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-15T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202311027683.5
公开号：	CN117002907A
代理机构：	无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	郑亚东
分类号：	B65G1/04;G06Q10/087;G06Q50/28;B;G;B65;G06;B65G;G06Q;B65G1;G06Q10;G06Q50;B65G1/04;G06Q10/087;G06Q50/28
申请人地址：	230000 安徽省合肥市经济技术开发区新桥科创示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼5层南侧
主权项：	1.一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的方法，其特征在于：包括如下步骤： S1，物料存储，人工上料至中央处理单元，依次在光刻胶料瓶上安装RFID标签，由中央处理单元处的总RFID读写仪录入光刻胶物料基础信息； S2，中央处理单元分配光刻胶料瓶存储位置，由总机械手将光刻胶料瓶置于指定传送带，运入对应存储区域中； S3，存储区域内的分机械手将光刻胶料瓶存储在预设冷藏室柜格中； S4，物料取用，在中央处理单元处输入取用命令，取用命令下发至中央处理单元内的主控制器，主控制器对比信息后下发指令至分机械手，打开冷藏室柜格门，调取对应光刻胶料瓶，关闭冷藏室柜格门，将光刻胶料瓶置于对应回温区中进行回温，并计时回温时间； S5，回温时间达到后，分机械手将光刻胶料瓶置于传送带上反向传输至中央处理单元，经总RFID读写仪对比信息无误后取用完成。 2.根据权利要求1所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理方法，其特征在于：所述光刻胶物料基础信息包括光刻胶物料的品牌、型号、重量、温度以及进入存储时间信息。 3.根据权利要求1所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理方法，其特征在于：所述存储信息包括光刻胶物料的贮藏温度、进入冷藏室柜格的时间以及冷藏室柜格的编号。 4.根据权利要求1所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理方法，其特征在于：需要时可在每个存储区域入口位置设置分RFID读写仪记录，以对应光刻胶料瓶的存储信息，并将信息传递至中央处理单元合并记录。 5.一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统，其特征在于：包括进出口、设于中间位置的中央处理单元(6)，还包括输送道(1)，以所述中央处理单元(6)为圆心向外发散设置，每条所述输送道(1)上均设有可正反两个方向运输物料的传送带(11)；冷藏室(2)，平行于所述输送道(1)分布在所述输送道(1)的两侧，冷藏室(2)设有若干层，每层设有若干个阵列设置的冷藏室柜格(21)；扫描单元(3)，包括设于所述中央处理单元(6)处的总RFID读写仪(31)和设于所述输送道(1)入口位置的分RFID读写仪(32)；存取单元(4)，包括设于所述中央处理单元(6)处的总机械手(41)和设于所述冷藏室(2)处的分机械手(42)；所述总机械手(41)能够绕中央处理单元(6)的圆周方向旋转且能够沿垂直方向升降；所述分机械手(42)能够沿冷藏室(2)的长度方向、高度方向和深度方向滑移。 6.根据权利要求5所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统，其特征在于：每个所述冷藏室(2)柜格的底部均设有回温区(5)，光刻胶料瓶取出后置于对应所述回温区(5)内放置回温。 7.根据权利要求5所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法，其特征在于：每个所述冷藏室柜格(21)均为独立控温，并通过中央处理单元(6)控制温度，用以适配不同贮藏条件的光刻胶物料。 8.根据权利要求5所述的一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法，其特征在于：所述扫描单元(3)包括设于所述中央处理单元(6)和所述冷藏室(2)中机台内的数据采集盒，所述数据采集盒设有若干组，均电连接至设于所述中央处理单元(6)内的交换机，并通过上位机控制。
所属类别：	发明专利