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原文传递用于气态气相沉积的薄膜暗盒

专利名称：	用于气态气相沉积的薄膜暗盒
摘要：	用于在气态气相沉积工艺期间支撑薄膜的暗盒包括具有第一端板和第二端板的中心转轴。每个端板上的脊均形成能够接纳薄膜的边缘的螺旋槽。每个脊均具有含有大致线性主要边缘的横截面构型、预定的宽度尺寸和预定的平均厚度尺寸以及至少2∶1的宽度与厚度纵横比。所述脊可为在自由端具有任选的扰流器的大致矩形或者大致楔形。端板之间的轮辐间的间距为至少三百毫米(300mm)并且也大于在气态沉积温度下薄膜基质的宽度尺寸。每个脊的宽度尺寸均介于所述轮辐间的间距的约0.5％至约2.0％之间。
专利类型：	发明专利
申请人：	纳幕尔杜邦公司
发明人：	P·F·卡西亚;C·埃斯特拉达;R·D·基纳德;R·S·麦克利恩;K·H·施尔基图斯
专利状态：	有效
申请日期：	2010-08-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080038883.5
公开号：	CN102482776A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：	王伦伟;李炳爱
分类号：	C23C16/458(2006.01)I
申请人地址：	美国特拉华州
主权项：	用于在气态气相沉积工艺期间支撑一段薄膜基质的暗盒，所述薄膜基质在气态沉积温度下具有预定的宽度尺寸，所述暗盒包括：中心转轴，其具有穿过它的轴线；第一端板和第二端板，每个端板均被安装到所述转轴，每个端板均包括从其辐射多个以角度间隔的轮辐的中心毂，每个端板的轮辐均具有位于基准平面上的内表面，所述基准平面被定向成基本上垂直于所述转轴的轴线，所述端板的轮辐的内表面是面对设置的并且间隔开预定的轮辐间的间距，每个端板均具有安装到其所述轮辐的内表面的螺旋脊，每个螺旋脊均具有预定数目的均匀隔开的圈和与其相关联的预定节距，在
所属类别：	发明专利