专利名称: |
一种蒸发源挡板结构 |
摘要: |
本发明公开了一种蒸发源挡板结构包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板;所述金属挡板包括弧形遮挡面,所述遮挡面背向所述蒸发源的一面为凸面,所述遮挡面朝向所述蒸发源的一面为凹面,并且相邻两个所述金属挡板的遮挡面的弧面角度一致;所述遮挡面的两端分别向所述蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿,所述下边沿与所述遮挡面之间形成内凹口。本发明可有效解决在OLED试验线以及量产线上,一个腔体里面同时加热几种材料而导致的材料交叉污染的问题;可有效防止在OLED试验线以及量产线上,蒸发源挡板上面材料沉积多导致材料脱落而引起的堵孔现象发生;可以更好地收集使用过的OLED材料,用于材料回收提纯,降低成本。 |
专利类型: |
发明专利 |
申请人: |
上海和辉光电有限公司 |
发明人: |
王钊;林信志;张斌;倪蔚德 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2014-02-28T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201410073485.7 |
公开号: |
CN103834921A |
代理机构: |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人: |
吴俊 |
分类号: |
C23C14/24(2006.01)I |
申请人地址: |
201506 上海市金山区工业区大道100号1幢二楼208室 |
主权项: |
一种蒸发源挡板结构,其特征在于,包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板;所述金属挡板包括弧形遮挡面(4),所述遮挡面(4)背向所述蒸发源的一面为凸面,所述遮挡面(4)朝向所述蒸发源的一面为凹面,并且相邻两个所述金属挡板的遮挡面(4)的弧面角度一致;所述遮挡面(4)的两端分别向所述蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿(6),所述下边沿(6)与所述遮挡面(4)之间形成内凹口(1)。 |
所属类别: |
发明专利 |