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原文传递 一种OLED线性蒸发源装置
专利名称: 一种OLED线性蒸发源装置
摘要: 本实用新型公开了一种OLED线性蒸发源装置,包括:蒸发源,用于容置蒸镀材料,所述蒸发源具有一正对基板的第一表面;复数个主喷嘴,沿一第一方向设置于所述蒸发源的所述第一表面上;且,所述蒸发源沿一第二方向移动进行蒸镀;沿所述蒸发源的垂直于所述第一方向的第二方向上,所述主喷嘴的两侧进一步分别设有至少一个补偿喷嘴。本发明通过在主喷嘴的两侧设置补偿喷嘴,可以将由补偿喷嘴喷出的球状的材料顶端材料量较多的区域补偿到由主喷嘴喷出的材料量较少的区域,从而使材料从喷嘴喷出后膜层是均匀的,这样,当有机材料掺杂时,每种材料蒸镀在基板上的膜层图形可以更好的相匹配,改善了掺杂效果,进而改善器件效果。
专利类型: 实用新型专利
申请人: 上海和辉光电有限公司
发明人: 黄俊允
专利状态: 有效
申请日期: 2014-06-13T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201420316433.3
公开号: CN203904446U
代理机构: 上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人: 曾耀先
分类号: C23C14/24(2006.01)I
申请人地址: 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项: 一种OLED线性蒸发源装置,包括:蒸发源,用于容置蒸镀材料,所述蒸发源具有一正对基板的第一表面;复数个主喷嘴,沿一第一方向设置于所述蒸发源的所述第一表面上;且,所述蒸发源沿垂直于所述第一方向的一第二方向移动进行蒸镀;其特征在于:沿所述蒸发源的第二方向上,所述主喷嘴的两侧进一步分别设有至少一个补偿喷嘴。
所属类别: 实用新型
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