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原文传递 OLED玻璃基板制程设备

专利名称：	OLED玻璃基板制程设备
摘要：	本实用新型公开了一种OLED玻璃基板制程设备，包括一第一腔室，所述第一腔室上设有一用以向所述第一腔室内通入保护气体的第一气体通道，所述第一腔室内设有一第二腔室，所述第二腔室上设有一用以向所述第二腔室内通入保护气体的第二气体通道，所述第一腔室与所述第二腔室之间形成一中间层，所述中间层内设有一加热器。本实用新型的一种OLED玻璃基板制程设备通过在第一腔室内增设第二腔室，将加热器设于第一腔室与第二腔室间的中间层内，使得保护气体在中间层内循环加热后再进入第二腔室进行工艺制作，改善了常温保护气体进入高温腔室中后对腔室内温度和均匀性的影响。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	刘冲;彭思君;徐平
专利状态：	有效
申请日期：	2015-04-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201520253541.5
公开号：	CN204538091U
代理机构：	上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人：	曾耀先
分类号：	H01L51/56(2006.01)I
申请人地址：	201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种OLED玻璃基板制程设备，其特征在于：所述设备包括一第一腔室，所述第一腔室上设有一用以向所述第一腔室内通入保护气体的第一气体通道，所述第一腔室内设有一第二腔室，所述第二腔室上设有一用以向所述第二腔室内通入保护气体的第二气体通道，所述第一腔室与所述第二腔室之间形成一中间层，所述中间层内设有一加热器。
所属类别：	实用新型