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原文传递接地弹片

专利名称：	接地弹片
摘要：	本实用新型提供一种接地弹片，其设置于反应室中，将承载基板的基座和接地端子电性连接，所述基座可在所述反应室中升降运动，其特征在于所述接地弹片包括：与所述基座电性连接的第一端；与所述接地端子电性连接的第二端；螺旋部，该螺旋部电性连接第一端和第二端，所述螺旋部随所述基座的运动而伸缩。本实用新型的技术方案采用一个螺旋状的接地弹片代替经过一道弯折的接地金属片，这样改进的益处在于螺旋状的接地弹片在基座运动时每一个部分的弯折角度都大大小于现有技术中经过一道弯折的接地金属弹片，这样本实用新型的接地弹片可以经过更多次的弯折而不断裂。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	龚庆;吕世伟;钟承业
专利状态：	有效
申请日期：	2014-11-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201420725647.6
公开号：	CN204356401U
代理机构：	上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人：	曾耀先
分类号：	C23C16/458(2006.01)I
申请人地址：	201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种接地弹片，适用于等离子体增强化学气相沉积反应室中承载基板接地连接，其特征在于，所述接地弹片包括：第一端，所述第一端与所述承载基板的基座电性连接；第二端，所述第二端与所述等离子体增强化学气相沉积反应室的接地端子电性连接；以及螺旋部，所述螺旋部电性连接所述第一端和所述第二端，所述螺旋部随所述基座的升降而伸缩。
所属类别：	实用新型