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一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头
| 专利名称： | 一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头 |
| 摘要： | 本实用新型涉及到一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头,包括壳体、固定在壳体上端的法兰，下端的靶材连接装置，在壳体的一侧上端设置有驱动十字轴装置。驱动十字轴装置包括驱动十字轴，其末端安装有角接触球轴承，顶端安装有小伞齿轮，驱动十字轴装置通过角接触球轴承与被驱动轴装置相连，其中，被驱动轴装置包括轴承，安装在轴承上的大伞形齿轮，大伞形齿轮与角接触球轴承对接，当驱动十字轴转动时，带动角接触球轴承转动，再通过角接触球轴承带动大伞形齿轮转动，从而带动被驱动轴装置转动。通过设置密封装置，提高了旋转端头的密封性和传动效率，及旋转阴极的溅射功率和稳定性。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 申请人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 发明人： | 李征;张俊峰;魏庆瑄 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2013-12-24T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201320857549.3 |
| 公开号： | CN203926694U |
| 代理机构： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 |
| 代理人： | 陈贞健 |
| 分类号： | F16H57/02(2012.01)I |
| 申请人地址： | 201506 上海市金山区亭林镇金飞路808号 |
| 主权项： | 一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头，包括壳体（1）、固定在壳体（1）上端的法兰（10），固定在壳体（1）下端的靶材连接装置（8），其特征在于，在壳体（1）的一侧上端设有驱动十字轴装置（2），所述驱动十字轴装置（2）包括驱动十字轴（20），所述驱动十字轴（20）末端安装有角接触球轴承（21），顶端安装有小伞齿轮（22），所述驱动十字轴装置（2）通过所述角接触球轴承(21)与被驱动轴装置（3）相连，所述被驱动轴装置（3）包括轴承（9），安装在轴承（9）上的大伞形齿轮（90），所述大伞形齿轮（90）与角接触球轴承(21)对接，当驱动十字轴（20）转动时，带动角接触球轴承（21）转动，再通过角接触球轴承（21）带动大伞形齿轮（90）转动，从而带动被驱动轴装置（3）转动。? |
| 所属类别： | 实用新型 |
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