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原文传递薄膜沉积设备及其基材传输装置

专利名称：	薄膜沉积设备及其基材传输装置
摘要：	本发明是关于一薄膜沉积设备及其基材传输装置。根据本发明一实施例的基材传输装置包含：设置于一传输室的若干机械手臂，及设置于至少一反应室的若干基材工位。其中若干机械手臂与至少一反应室内的基材工位对应，各机械手臂可放置基材至所述至少一反应室内相对应的基材工位或自相对应的基材工位上取走基材。根据本发明实施例的薄膜沉积设备及其基材传输装置可节省反应室内用于基材工位的回转机构，在节省成本的同时，可提高设备的稳定性和基材传输的效率。
专利类型：	发明
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳拓荆科技有限公司
发明人：	王祥慧
专利状态：	有效
申请日期：	2014-09-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201410449129.0
公开号：	CN105460599A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：	刘锋
分类号：	B65G47/90(2006.01)I
申请人地址：	110000 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号3楼
主权项：	一种用于薄膜沉积设备的基材传输装置，包含：若干机械手臂，设置于一传输室；若干基材工位，设置于至少一反应室；其中所述若干机械手臂与所述至少一反应室内的基材工位对应，以将基材放置至所述至少一反应室内相对应的基材工位或自相对应的基材工位上取走基材。
所属类别：	发明专利