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一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器
| 专利名称： | 一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器，沿光路方向依次设有掺铥光纤激光器、第一红外单模光纤、气室、第二红外单模光纤和光谱分析仪，所述气室外部设有进气口和出气口，内部设有片上有源微环谐振腔，所述片上有源微环谐振腔包括衬底、下包层、直光波导、有源微环和介质层，所述下包层贴合在衬底上，所述介质层贴合设置在下包层上，所述直光波导和有源微环均设置在介质层上；本发明的一种高灵敏度中红外有源微环气体传感器采用有源微环谐振腔结构，并用掺杂稀土离子的硫系玻璃材料作为波导材料，结构简单、集成度高，利用有源微环谐振腔的高Q值可以实现对多种气体分子的高灵敏度检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 广州米德红外科技有限公司 |
| 发明人： | 熊松松 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810877849.5 |
| 公开号： | CN108872123A |
| 代理机构： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
| 代理人： | 江裕强 |
| 分类号： | G01N21/35(2014.01)I;G01N21/39(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/35;G01N21/39 |
| 申请人地址： | 510663 广东省广州市高新技术产业开发区联和街道科学城科丰路31号华南新材料创新园G4楼202房 |
| 主权项： | 1.一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器，沿光路方向依次设有掺铥光纤激光器（1）、第一红外单模光纤（2）、气室（3）、第二红外单模光纤（4）和光谱分析仪（5），其特征在于：所述气室（3）外部设有进气口（6）和出气口（7），内部设有片上有源微环谐振腔（8），所述片上有源微环谐振腔（8）包括衬底（9）、下包层（10）、直光波导（11）、有源微环（13）和介质层（12），所述下包层（10）贴合在衬底（9）上，所述介质层（12）贴合设置在下包层（10）上，所述直光波导（11）和有源微环（13）均设置在介质层（12）上。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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