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基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法
| 专利名称： | 基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法，首先通过在菲索型波长移相干涉仪中，分别移相采样放置待测平行平板和空腔下的干涉图；其次，对干涉图各点的干涉光强数据，采用基于快速高斯网格法(FGG)的非均匀傅里叶变换，转化至频域进行频谱分析；最后，提取不同干涉腔长下对应的频率分量进行逆傅里叶变换获得干涉图的相位信息，将其恢复为波面信息后，计算得到待测平行平板的光学均匀性。本发明采用非均匀傅里叶变换频谱分析法，降低了波长移相时的非线性误差引起的测量误差，操作简单，步骤少，可用于大口径光学材料光学均匀性的高精度测量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 南京理工大学 |
| 发明人： | 郭仁慧;廖之山;段明亮;杨博雄;李建欣;朱日宏;陈磊;何勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810950390.7 |
| 公开号： | CN108872153A |
| 代理机构： | 南京理工大学专利中心 32203 |
| 代理人： | 朱沉雁 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/45 |
| 申请人地址： | 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 |
| 主权项： | 1.一种基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，在菲索波长移相干涉仪的干涉腔内，于干涉腔透射参考平面T和反射参考平面R之间放置待测平行平板；设置采集干涉图数目N及移相步长后进行移相采样，得到N幅干涉图的干涉光强数据，N＝2n，n为满足测试精度所需的干涉图数目所取的正整数，所述每幅干涉图的干涉光强数据包括非多表面干涉叠加区域和多表面干涉叠加区域，转入步骤2；。步骤2，将上述每幅干涉图的非多表面干涉叠加区域，通过相位恢复算法计算其中的移相量，所得结果记为原始非均匀采样序列xj，转入步骤3；步骤3，将原始非均匀采样序列xj进行过采样，得到均匀采样序列xi，以此预计算高斯核函数用于卷积时的各指数部分值，并使用高斯核函数与步骤1中每幅干涉图中的多表面干涉区域的单个像素点的非均匀干涉数据fj卷积，得到高斯网格下的均匀离散值fτ，转入步骤4；步骤4，对fτ做一维快速傅里叶变换和退卷积处理，得到频谱数据Fdeconv，完成对该像素点的非均匀傅里叶变换，转入步骤5；步骤5，返回步骤3，直至遍历多表面干涉区域所有像素点，加窗提取频谱数据Fdeconv中的峰值并对其做逆傅里叶变换，得到各组干涉条纹对应的相位信息，将其转化为波面信息W1～W6，转入步骤6；步骤6，空腔测量，撤去待测平行平板，保持干涉腔透射参考平面T和反射参考平面R的位置固定，进行波长调谐移相测量操作，得到波面信息W7，转入步骤7；步骤7，综合步骤5和步骤6的测量结果，计算得到待测平行平板光学均匀性信息Δn。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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