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基于非均匀光照的光增强型气敏元件
| 专利名称： | 基于非均匀光照的光增强型气敏元件 |
| 摘要： | 本发明属于气体传感器技术领域，具体为一种基于非均匀光照的光增强型气敏元件。本发明气敏元件包括：传感单元、遮光层和光源；传感单元包括基底、气体敏感层、薄膜电极层；气体敏感层是半导体材料，用于吸、脱附待测气体，并发生自身电学性质的改变；电学性质的改变包括气体敏感层的电阻、电流或电压变化。其工作方式是外加电压源并检测输出的电流变化，以反映被测气体的浓度。在给定的光照下，电极两端生成光电压，此时如果外加的电压与光电压方向相反，那么输出电流即基线电流会下降；特别地，当外加的偏压与光电流不仅方向相反，而且大小相同时，则可以极大地降低气敏元件的基线电流，从而大幅度增加该气敏元件的灵敏度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 复旦大学 |
| 发明人： | 庄军;赵利;刘晓龙;朱苏皖 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810658361.3 |
| 公开号： | CN108709905A |
| 代理机构： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 |
| 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00;G01N27/12 |
| 申请人地址： | 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |
| 主权项： | 1.基于非均匀光照的光增强型气敏元件，其特征在于，结构自下而上包括：传感单元（10）、遮光层（20）和光源（30）；所述传感单元（10）包括：基底（11）、气体敏感层（12）、薄膜电极层（13）；其中：所述基底（11）与气体敏感层（12）连接，基底主要起支撑作用；所述气体敏感层（12）是半导体材料，用于吸、脱附待测气体，并发生自身电学性质的改变；所述电学性质的改变包括气体敏感层的电阻、电流或电压变化；所述薄膜电极层（13）有两个，相互独立，材料为金属或合金，分别与气体敏感层（12）接触，用于将气体敏感层的电学性质变化输出到元件外部；所述薄膜电极层（13）在气体敏感层（12）的上方或下方；所述遮光层（20）采用不透光的材料，用于遮挡光源（30）照射出的一部分光线（31），并使气体敏感层（12）接受到非均匀的照射；所述光源（30）固定于遮光层（20）上方，发射出的光波长范围为300~1100nm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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