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原文传递一种四极质谱计

专利名称：	一种四极质谱计
摘要：	本实用新型公开一种四极质谱计，用于真空系统中气体的成分分析，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。被分析的气体从该进气口流过四极质谱计四极杆组成的采样部件，相对于传统的在四极质谱计底端分流进气的方法，本实用新型气体采样的灵敏度更高，能提高四极质谱计的气体分析能力，有利于气体成分的定量分析。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	成都飞机工业（集团）有限责任公司
发明人：	欧雷
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201721254573.2
公开号：	CN207300973U
代理机构：	成飞(集团)公司专利中心 51121
代理人：	梁义东
分类号：	G01N27/62(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/62
申请人地址：	610092 四川省成都市青羊区黄田坝纬一路88号
主权项：	一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，其特征在于，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。
所属类别：	实用新型