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原文传递 一种切割后硅片装夹夹具及切割后硅片装夹组件
专利名称: 一种切割后硅片装夹夹具及切割后硅片装夹组件
摘要: 本实用新型公开了一种切割后硅片修复用装夹夹具包括一个L形的折弯杆,折弯杆长段的端部段设有连接螺纹且其上活动套有直杆,折弯杆上在直杆两侧分别设有锁定连接直杆的锁定螺母,折弯杆的短段端部转动设有平行于长段的连接杆,直杆的端部也设有平行于折弯杆长段的连接杆,连接杆端部设有端部夹板,端部夹板上与硅片接触表面设有弹性胶板。本实用新型还公开了一种切割后硅片装夹组件,包括装夹平台及上述夹具,所述装夹平台包括上表面倾斜设置的底座,底座较低一侧设有侧定位立板,底座一端设有端部立板,端部立板正对硅片的表面上设有容置夹具的端部夹板的定位槽,端部立板上设有供连接直杆穿过的竖直布置且贯通至端部立板上表面的容置槽。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 苏州晶樱光电科技股份有限公司
发明人: 黄金强;冯强;郭宽新
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201721726291.8
公开号: CN208118159U
代理机构: 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273
代理人: 曹成俊
分类号: B28D7/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B;H;B28;H01;B28D;H01L;B28D7;H01L21;B28D5;B28D7/04;H01L21/304;B28D5/00
申请人地址: 215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村晶樱光电
主权项: 1.一种切割后硅片装夹夹具,包括一个L形的折弯杆,折弯杆长段的端部段设有连接螺纹且其上活动套有直杆,折弯杆上在直杆两侧分别设有锁定连接直杆的锁定螺母,折弯杆的短段端部转动设有平行于长段的连接杆,直杆的端部也设有平行于折弯杆长段的连接杆,连接杆端部设有端部夹板,端部夹板上与硅片接触表面设有弹性胶板。
所属类别: 实用新型
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