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基于电场偏转的电推进羽流沉积效应的测量装置
| 专利名称： | 基于电场偏转的电推进羽流沉积效应的测量装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于电场偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，正负极板，QCM安装支架和前挡板以及左右挡板，其中正极板和负极板分别通过绝缘垫和四个支撑挡板连接形成封闭的测量室，其中，QCM污染测量传感器设置在QCM安装支架上，正负极板分布在测量室上下，前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小需要通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，负极板为主要承担带电粒子偏转轰击的侧板，其内表面添加石墨片。本发明可有效过滤到返流的CEX离子对测试基材的溅射作用，且采用磁偏转不会增加CEX的能量，同时在右侧支板安装石墨防溅射材料，大大减小二次溅射对污染测量的影响。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 发明人： | 商圣飞;向树红;姜利祥;孙继鹏;韩然;夏彦;欧学东;杨艳静 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810446956.2 |
| 公开号： | CN108872000A |
| 分类号： | G01N5/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N5;G01N5/02 |
| 申请人地址： | 100094 北京市海淀区友谊路104号 |
| 主权项： | 1.基于电场偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，平行相对设置的正极板和负极板，平行相对设置的QCM安装支架和前挡板，以及平行相对设置的左挡板和右挡板，其中正极板和负极板分别通过绝缘垫和前后左右四个支撑挡板连接形成封闭的测量室，其中，QCM污染测量传感器设置在QCM安装支架上，正极板和负极板分布在测量室上下，所述前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小需要通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物，同时阻挡其他方向来的干扰物；负极板为主要承担带电粒子偏转轰击的侧板，其内表面添加石墨片，且QCM安装支架的侧板内壁也设置石墨片防止部分沉积污染。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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