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一种应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪分光光路结构
| 专利名称： | 一种应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪分光光路结构 |
| 摘要： | 本发明属于光谱仪分光系统领域，涉及一种应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪分光光路结构，该分光光路结构按光束的传播轨迹顺序包括：入射狭缝、用于准直入射光的准直反射镜、棱镜、用于实现高阶色散的中阶梯光栅、用于聚焦各波长平行光束的成像反射镜和用于接收光谱图像信号的面阵探测器；棱镜用于实现光束的交叉色散如下：光束从棱镜的同一侧入射和出射实现双次色散。本发明中阶梯光栅多个衍射级次的交叉色散通过同一棱镜双次色散实现，较之棱镜单次色散或棱镜反射，相同通光口径下光路在宽度上得以压缩；同时，在达到相同色散效果时，棱镜的厚度和楔角大大减小，可减少材料对光的吸收，提高系统的测试灵敏度；测试的短波下限可达165nm。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
| 发明人： | 何淼;曹海霞;夏钟海;赵英飞;罗剑秋;宫小艳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810666086.X |
| 公开号： | CN108896537A |
| 代理机构： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 |
| 代理人： | 李彬;张小娟 |
| 分类号： | G01N21/73(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/73 |
| 申请人地址： | 100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号 |
| 主权项： | 1.一种应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪分光光路结构，该分光光路结构按光束的传播轨迹顺序包括：入射狭缝(1)、用于准直入射光的准直反射镜(2)、棱镜(3)、用于实现高阶色散的中阶梯光栅(4)、用于聚焦各波长平行光束的成像反射镜(5)和用于接收光谱图像信号的面阵探测器(6)；其特征在于：所述棱镜(3)用于实现光束的交叉色散如下：光束从棱镜(3)的同一侧入射和出射实现双次色散。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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