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原文传递一种传感器元件的制造方法

专利名称：	一种传感器元件的制造方法
摘要：	本发明公开了一种传感器元件的制造方法，制造方法包括如下步骤：选择聚氯乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯及丙烯酸类树脂等绝缘材料性质的覆盖板，将表面涂有银浆或者银钯浆等电极浆料的电极传感板通过矩阵印刷的工艺固定在覆盖板和压电基板中间，从而形成电极导电带；向目标基体表面转移石墨烯，在目标基体表面制作金属网格电极图案，采用此制备方法，不会用到离子束刻蚀工艺这一瓶颈工艺，减少了设备投资，而且更重要的是工艺大大简化，大大减少了流片时间，获得较好的磁阻层表面形貌，提高器件性能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏奥尼克电气股份有限公司
发明人：	张晓民
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810304257.4
公开号：	CN108593734A
代理机构：	北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人：	曾龙
分类号：	G01N27/30(2006.01)I;H01L41/04(2006.01)I;H01L41/27(2013.01)I;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N27;H01L41;G01N27/30;H01L41/04;H01L41/27
申请人地址：	221000 江苏省徐州市工业园区大吴锦程工业园6号
主权项：	1.一种传感器元件的制造方法，其特征在于，制造方法包括如下步骤：步骤一：选择聚氯乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯及丙烯酸类树脂等绝缘材料性质的覆盖板，将表面涂有银浆或者银钯浆等电极浆料的电极传感板通过矩阵印刷的工艺固定在覆盖板和压电基板中间，从而形成电极导电带；步骤二：向目标基体表面转移石墨烯，在目标基体表面制作金属网格电极图案；步骤三：将光刻完成的陶瓷基片放入磁控溅射设备，溅射Pt金属薄膜；步骤四：将上述得到陶瓷基片放到O2气氛的炉子中烧蚀或者放入盐浴中去除SU‑8胶，最后得到沉积在陶瓷衬底上的Pt金属微结构图形。
所属类别：	发明专利