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原文传递 一种保护探头的扫描电镜试样台
专利名称: 一种保护探头的扫描电镜试样台
摘要: 本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台,包括试样台缓冲装置和试样台底座,试样台底座连接电镜的载物转台,一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上;试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件,当由于人工操作失误使得试样与探头发生碰撞,试样台缓冲装置会起到缓冲的作用,弹簧会吸收在发生碰撞时的大部分碰撞能量,转换为弹簧的弹性势能,从而避免了出现刚性碰撞而导致探头直接损坏。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 云南;53
申请人: 昆明理工大学
发明人: 刘洪喜;张璐璐;张晓伟;石海;郝轩弘
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810616807.6
公开号: CN108896595A
分类号: G01N23/2204(2018.01)I;G01N23/2251(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2204;G01N23/2251
申请人地址: 650093 云南省昆明市五华区学府路253号
主权项: 1.一种保护探头的扫描电镜试样台,其特征在于,包括试样台缓冲装置和试样台底座(1),试样台底座(1)连接扫描电镜的载物转台,一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座(1)上,试样台缓冲装置包括法兰(2)、试样爪基座(3)、试样爪、弹簧(5)、套筒(6)、试样爪紧固件(8),法兰(2)设置在试样台底座(1)上,套筒(6)设置在法兰(2)上,弹簧(5)设置在套筒(6)外部,弹簧(5)的底部设置在法兰(2)上,试样爪基座(3)的侧视图为T字型结构,T字型结构的上部位于弹簧(5)顶部,T字型结构的底部悬空设置在套筒(6)内, T字型结构的顶部开有环形凹槽,试样爪设置在环形凹槽内,试样爪紧固件(8)设置在试样爪基座(3)上并将试样爪固定。
所属类别: 发明专利
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