专利名称: |
一种保护探头的扫描电镜试样台 |
摘要: |
本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台,包括试样台缓冲装置和试样台底座,试样台底座连接电镜的载物转台,一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上;试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件,当由于人工操作失误使得试样与探头发生碰撞,试样台缓冲装置会起到缓冲的作用,弹簧会吸收在发生碰撞时的大部分碰撞能量,转换为弹簧的弹性势能,从而避免了出现刚性碰撞而导致探头直接损坏。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
云南;53 |
申请人: |
昆明理工大学 |
发明人: |
刘洪喜;张璐璐;张晓伟;石海;郝轩弘 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810616807.6 |
公开号: |
CN108896595A |
分类号: |
G01N23/2204(2018.01)I;G01N23/2251(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2204;G01N23/2251 |
申请人地址: |
650093 云南省昆明市五华区学府路253号 |
主权项: |
1.一种保护探头的扫描电镜试样台,其特征在于,包括试样台缓冲装置和试样台底座(1),试样台底座(1)连接扫描电镜的载物转台,一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座(1)上,试样台缓冲装置包括法兰(2)、试样爪基座(3)、试样爪、弹簧(5)、套筒(6)、试样爪紧固件(8),法兰(2)设置在试样台底座(1)上,套筒(6)设置在法兰(2)上,弹簧(5)设置在套筒(6)外部,弹簧(5)的底部设置在法兰(2)上,试样爪基座(3)的侧视图为T字型结构,T字型结构的上部位于弹簧(5)顶部,T字型结构的底部悬空设置在套筒(6)内, T字型结构的顶部开有环形凹槽,试样爪设置在环形凹槽内,试样爪紧固件(8)设置在试样爪基座(3)上并将试样爪固定。 |
所属类别: |
发明专利 |