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利用扫描电镜在极限分辨率下测试样品的方法
| 专利名称： | 利用扫描电镜在极限分辨率下测试样品的方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用扫描电镜在极限分辨率下测试样品的方法，该方法包括：(1)将待测粉体与溶剂和导电背景粉体混合成浆料；(2)将所述浆料施加在样品台的导电胶上并进行干燥；(3)将步骤(2)得到的样品置于扫描电镜中进行观察。该方法可以在极限分辨率下获得清晰的样品表面形貌等信息，避免使用了价格昂贵的透射电镜，从而显著降低了测试成本。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳鸿鹏新能源科技有限公司 |
| 发明人： | 吴华忠;刘璋勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-04-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-12T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910262298.6 |
| 公开号： | CN110006937A |
| 代理机构： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 赵天月 |
| 分类号： | G01N23/2251(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 518023 广东省深圳市罗湖区笋岗街道宝安北路2088号深业物流大厦1016室 |
| 主权项： | 1.一种利用扫描电镜在极限分辨率下测试样品的方法，其特征在于，包括： (1)将待测粉体与溶剂和导电背景粉体混合成浆料； (2)将所述浆料施加在样品台的导电胶上并进行干燥； (3)将步骤(2)得到的样品置于扫描电镜中进行观察。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述待测粉体和所述导电背景粉体的质量比为1：(100～10000)，优选1：(1000～7000)，更优选1:(3000～5000)。 3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述待测粉体的粒径不低于所述扫描电镜的极限分辨率。 4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述导电背景粉体的比表面积不高于1m2/g。 5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述导电背景粉体的粒径不低于10微米。 6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述导电背景粉体为LiCoO2和镍钴锰酸锂三元材料中的至少之一。 7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述混合是采用磁力搅拌后超声进行的，所述磁力搅拌的转速为500～1500r/min，搅拌时间为5～15min，超声时间为2～7min。 8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述溶剂为水、醇、酮或醚。 9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：在将步骤(2)得到的样品置于扫描电镜中进行观察之前，预先对步骤(2)得到的样品进行喷金。 10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述喷金过程的真空度为7～10Pa，时间为45～75秒。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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