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原文传递一种扫描电镜样品的镶嵌方法

专利名称：	一种扫描电镜样品的镶嵌方法
摘要：	本发明公开了一种扫描电镜样品的镶嵌方法，包括：提供合金材料作为镶嵌料，并将镶嵌料切为块状结构；将待镶嵌的样品放置在载片上并使样品的观察面与载片接触；使用双面开口的模具罩住所述样品并确保样品位于模具的中心位置；在模具内围绕样品铺设块状结构的镶嵌料，并使所述镶嵌料的高度高于样品；加热所述镶嵌料使所述镶嵌料完全覆盖样品并平铺在模具底部；向镶嵌料和样品施压压力，以确保镶嵌料成型；将镶嵌完成的样品从载片上取下并脱模。本发明可以确保在半凝固状态下的合金镶嵌料和样品之间结合紧密，从而保证样品与镶嵌料间良好的导电性，解决了在扫描电镜样品在观察中出现的局部电子难以被中和、影响成像质量的问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	胜科纳米(苏州)有限公司
发明人：	陈妍;潘慧慧;吴梦雪;华佑南;李晓旻
专利状态：	有效
申请号：	CN201811069284.4
公开号：	CN109444194A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	朱琳
分类号：	G01N23/2202(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507
主权项：	1.一种扫描电镜样品的镶嵌方法，其特征在于，包括：提供合金材料作为镶嵌料，并将镶嵌料切为块状结构；将待镶嵌的样品放置在载片上并使样品的观察面与载片接触；使用双面开口的模具罩住所述样品并确保样品位于模具的中心位置；在模具内围绕样品铺设块状结构的镶嵌料，并使所述镶嵌料的高度高于样品；加热所述镶嵌料使所述镶嵌料完全覆盖样品并平铺在模具底部；向镶嵌料和样品施压压力，以确保镶嵌料成型；将镶嵌完成的样品从载片上取下并脱模。
所属类别：	发明专利