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一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统
| 专利名称： | 一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统，包括氦气置换系统、文丘里真空泵系统以及色谱前处理系统；所述氦气置换系统包括氦气进口、开关阀a、开关阀b以及四通阀；所述文丘里真空系统包括文丘里真空泵、氮气进口以及废气出口，所述氮气进口与所述废气出口均与所述文丘里真空泵气路连接，所述文丘里真空泵通过开关阀d与所述三通阀b气路连接，本发明针对三氯化硼遇水分解问题，采用超纯氦气进行置换和吹扫进样管路，并对系统抽真空，通过吹扫‑真空置换几次后能够使进样系统的水分降至0.1ppm以下，针对三氯化硼不能进真空泵的问题，采用文丘里真空泵，氮气做吹扫气，能够避免三氯化硼分解堵塞问题。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 朗析仪器（上海）有限公司 |
| 发明人： | 王祥科;杨坤;王富德;李建浩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810918150.9 |
| 公开号： | CN108896689A |
| 代理机构： | 上海海贝律师事务所 31301 |
| 代理人： | 范海燕 |
| 分类号： | G01N30/20(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/20 |
| 申请人地址： | 201702 上海市青浦区徐泾镇华徐公路719号6幢2层1号门 |
| 主权项： | 1.一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统，其特征在于：包括氦气置换系统、文丘里真空泵系统以及色谱前处理系统(15)；所述氦气置换系统包括氦气进口(4)、开关阀a(5)、开关阀b(13)以及四通阀(14)，所述氦气进口(4)气路连接开关阀a(5)，所述开关阀a(5)气路连接有三通阀a(3)，所三通阀a(3)气路连接有三通阀b(8)，所述三通阀b(8)与所述开关阀b(13)气路连接，所述开关阀b(13)与所述四通阀(14)气路连接，所述四通阀(14)与所述色谱前处理系统(15)气路连接，所述四通阀(14)气路连接有氦气吹扫口(17)与尾气出口(16)，所述三通阀a(3)气路连接有开关阀c(2)，所述开关阀c(2)气路连接有样品进口(1)；所述文丘里真空系统包括文丘里真空泵(11)、氮气进口(10)以及废气出口(12)，所述氮气进口(10)与所述废气出口(12)均与所述文丘里真空泵(10)气路连接，所述文丘里真空泵(10)通过开关阀d(9)与所述三通阀b(8)气路连接。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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