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原文传递电感悬臂梁无线无源湿度传感器

专利名称：	电感悬臂梁无线无源湿度传感器
摘要：	本发明是一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器，其中，绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明具有体积小、功耗低和可批量生产的优点，利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，传感器的回滞更小、重复性更好，无需引线和电池供电，能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行湿度测量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	东南大学
发明人：	王立峰;黄庆安;谢明珠
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201710886337.0
公开号：	CN107727696A
代理机构：	南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人：	柏尚春
分类号：	G01N27/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/02
申请人地址：	210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
主权项：	一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和感湿薄膜(6)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。
所属类别：	发明专利