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原文传递无线无源传感器及其制作方法

专利名称：	无线无源传感器及其制作方法
摘要：	本发明公开了一种无线无源传感器及其制作方法。包括：衬底；绝缘介质层，其设置在所述衬底沿其厚度方向的一侧；固定件，其设置在所述绝缘介质层背离所述衬底的一侧；电感组件，其与所述固定件连接，所述电感组件悬置在所述衬底上方，并且，所述电感组件背离所述衬底的一面用于承载待测微粒，以在所述待测微粒的作用下产生机械谐振和电磁谐振，以实现检测所述待测微粒的质量和介电常数。本发明的无线无源传感器，可以利用电感组件的机械谐振以及电磁谐振的特性，可以实现同时检测微粒的质量和介电常数。此外，无需引线和电池供电，能在密闭环境或旋转环境等恶劣环境中应用。为片上集成结构，具有体积小、功耗低和可批量生产的优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	东南大学
发明人：	王立峰;董蕾;黄庆安
专利状态：	有效
申请号：	CN201811087497.X
公开号：	CN109443999A
代理机构：	南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人：	楼高潮
分类号：	G01N15/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
主权项：	1.一种无线无源传感器，其特征在于，包括：衬底；绝缘介质层，其设置在所述衬底沿其厚度方向的一侧；固定件，其设置在所述绝缘介质层背离所述衬底的一侧；电感组件，其与所述固定件连接，所述电感组件悬置在所述衬底上方，并且，所述电感组件背离所述衬底的一面用于承载待测微粒，以在所述待测微粒的作用下产生机械谐振和电磁谐振，以实现检测所述待测微粒的质量和介电常数。
所属类别：	发明专利