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原文传递 全自动硅晶棒数控掏棒机
专利名称: 全自动硅晶棒数控掏棒机
摘要: 本发明公开了一种全自动硅晶棒数控掏棒机,包括上料区、料仓和刀架,料仓连接上料区,料仓与刀架之间设有机械手臂,刀架上设置刀盘,刀架后方设置开槽动力头,刀架侧面设置自动出屑头,刀架架设在立柱上,包括可上下升降的升降套,升降套内设置可旋转的旋转套,刀盘连接在旋转套底部,刀架中央设置压盘。硅晶棒由上料区进入料仓后,通过机械手臂将其夹到刀架下方,压盘下压将硅晶棒压住定位,刀架的下降和旋转套的转动使刀盘将硅晶棒进行外圆切割,切割后的余料落入自动出屑头进行收集再利用,该装置自动化程度高,无粉尘污染,余料可收集再利用节能环保,每次切割只需1小时左右,工作效率高。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 江阴华芯源半导体装备有限公司
发明人: 王江华;蔡毅祥;冯君
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810062394.1
公开号: CN108372598A
代理机构: 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240
代理人: 刘菊兰
分类号: B28D5/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
申请人地址: 214400 江苏省无锡市江阴市徐霞客镇峭璜路12号
主权项: 1.一种全自动硅晶棒数控掏棒机,包括上料区(1)、料仓(2)和刀架(6),料仓(2)和刀架(6)设置在底座(11)上,其特征在于,所述料仓(2)为圆形转动盘,料仓(2)上均匀排布有多个凹槽,上料区(1)连接料仓(2),上料区(1)内的硅晶棒依次落入料仓(2)的凹槽中,料仓(2)与刀架(6)之间设有机械手臂(3),机械手臂(3)旁设有X光定向仪(4),刀架(6)两边对称设置有立柱(5),刀架(6)连接在两立柱(5)上,刀架(6)底部连接刀盘(61),刀盘(61)为圆环形,刀架(6)下方设有台面(12),刀架(6)后方设置有开槽动力头(9),底座(11)上设置有第一电器柜(8)和第二电器柜(9),第一电器柜(8)中的电器元件控制刀架(6),第二电器柜(9)中的电器元件控制开槽动力头(9);所述刀架(6)包括升降套(66),升降套(66)为空心柱体结构,升降套(66)两边通过丝杠连接两边的立柱(5),每根丝杠顶部连接一个第一电机(64),所述两根立柱(5)顶部通过一根横梁(13)相互连接,横梁(13)中央连接有一根齿条(62),所述齿条(62)齿条(62)连接横梁(13)上设置的第二电机(64),齿条(62)穿过升降套(66)中央,齿条(62)底部连接一压盘(61)。
所属类别: 发明专利
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