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一种透明介质的表面划痕成像检测装置及方法
| 专利名称： | 一种透明介质的表面划痕成像检测装置及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种透明介质的表面划痕成像检测装置及其检测方法，检测装置包括平行光源模块、第一傅里叶透镜、空间滤波模块、成像镜头、探测器模块以及数据处理模块；所述平行光源模块输出平行光束，平行光束先后通过被测样品以及第一傅里叶透镜形成汇聚光束，汇聚光束先后通过空间滤波模块以及成像镜头到达探测器模块，所述空间滤波模块置于第一傅里叶透镜的焦平面上，所述探测器模块输出端与数据处理模块输入端通信连接。本发明通过空间滤波模块，去除采集图像的背景光强干扰，做到对透明介质的表面划痕单独成像，划痕检测精度高，同时由于是对透明介质的表面划痕单独成像分析，数据处理量低，有效提高检测精度。本发明用于检测透明介质的表面划痕。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 佛山科学技术学院 |
| 发明人： | 韩定安;黄鸿衡;罗曦;赵汝豪;周健强;王茗祎;曾亚光 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810605915.3 |
| 公开号： | CN108918529A |
| 代理机构： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 |
| 代理人： | 王国标 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88 |
| 申请人地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇仙溪水库西路佛山科学技术学院 |
| 主权项： | 1.一种透明介质的表面划痕成像检测装置，其特征在于，包括平行光源模块(1)、第一傅里叶透镜(2)、空间滤波模块(3)、成像镜头(4)、探测器模块(5)以及数据处理模块(6)；所述平行光源模块(1)输出平行光束，平行光束先后通过被测样品以及第一傅里叶透镜(2)形成汇聚光束，汇聚光束先后通过空间滤波模块(3)以及成像镜头(4)到达探测器模块(5)，所述空间滤波模块(3)置于第一傅里叶透镜(2)的焦平面上，所述成像镜头(4)安装在探测器模块(5)上，所述探测器模块(5)输出端与数据处理模块(6)输入端通信连接。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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