专利名称: |
一种超快速的硅基表面质量检测系统 |
摘要: |
本发明涉及硅基表面质量检测的技术领域,更具体地,涉及一种超快速的硅基表面质量检测系统。包括以下装置:锁模飞秒脉冲光源,中红外光波滤波器,色散光纤,掺铒光纤放大器(EDFA),衍射光栅,基于透镜组成的4f成像系统,物镜,数字相干接收机,高速采样示波器以及数据处理恢复所需的电脑。另外还包括所需要用到的环形器,耦合器,光纤,光纤偏振控制器,准直器等。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
中山大学 |
发明人: |
李朝晖;王绍祥;冯元华;甄智燊;吴振华 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810215816.4 |
公开号: |
CN108445017A |
代理机构: |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人: |
陈伟斌 |
分类号: |
G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95 |
申请人地址: |
510275 广东省广州市新港西路135号 |
主权项: |
1.一种超快速的硅基表面质量检测系统,其特征在于,包括锁模飞秒脉冲光源(1),中红外光波滤波器(2),色散光纤(3),掺铒光纤放大器(4),衍射光栅(9),基于透镜组成的4f成像系统,物镜(11),数字相干接收机(13),高速采样示波器(14)以及数据处理恢复所需的电脑(15),另外还包括实验中所需用到的一些光纤,环形器(7),耦合器,光纤偏振控制器(6),准直器(8);还包括相位延迟线(5),透镜(10),硅基样品(12);所述的锁模飞秒脉冲光源(1)、中红外光波滤波器(2)、色散光纤(3)、掺铒光纤放大器(4)依次连接,掺铒光纤放大器(4)再通过相位延迟线(5)或光纤偏振控制器(6)连接数字相干接收机(13),数字相干接收机(13)再连接示波器(14)以及电脑(15);所述的光纤偏振控制器(6)还依次连接环形器(7)、准直器(8)、衍射光栅(9)、透镜(10)、物镜(11)、硅基样品(12)。 |
所属类别: |
发明专利 |