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高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置
| 专利名称： | 高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置，包括相互通气连接的气体流量控制器和恒温气氛测试腔以及用于为恒温气氛测试腔控制温度的温度控制器和用于测试输出电阻的电阻仪。通过本实用新型可任意调节标准气体浓度值和流量，浓度调节范围宽精度高，标定氢气浓度标校曲线时可以极大降低外界温度干扰以及气体流动对标校的影响，从而确保准确获取传感单元输出电阻和氢气浓度标准值对应关系，便于准确分析薄膜电阻氢气传感器的各项静态指标；通过本实用新型还可以获取薄膜电阻氢气传感器的温度标校曲线，分析出其温度特性；通过本实用新型还可以针对薄膜电阻氢气传感器的响应时间、分辨率、选择性等其他特性进行检测。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 发明人： | 张毅;庄志;李翀;欧阳智江;周继昆;毛勇建 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820244467.4 |
| 公开号： | CN207779948U |
| 代理机构： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 |
| 代理人： | 杨春 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/12 |
| 申请人地址： | 621908 四川省绵阳市绵山路64号 |
| 主权项： | 1.一种高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置，其特征在于：包括气体流量控制器、恒温气氛测试腔、温度控制器和电阻仪，所述气体流量控制器至少包括两个输入口和一个输出口，每个所述输入口和所述输出口分别连接一只可程控质量流量计；所述恒温气氛测试腔包括壳体和置于所述壳体的内腔中的温度传感器、薄膜电阻氢气传感器、电加热器，所述壳体上设有分别与所述壳体的内腔相通的进气口和出气口；所述气体流量控制器的输出口与所述恒温气氛测试腔的进气口连接，所述恒温气氛测试腔的出气口与大气相通，所述温度传感器的信号输出端和所述电加热器的电源输入端分别与所述温度控制器的信号输入端和加热控制输出端连接，所述薄膜电阻氢气传感器的信号输出端与所述电阻仪的信号输入端连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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