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基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器
| 专利名称： | 基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器，包括并排设置的第一银膜和第四银膜，第一银膜的中部和第四银膜的中部通过连接膜相连接，第一银膜和第四银膜之间并排设置有第一直波导和第二直波导，连接膜上设有矩形谐振腔，第一直波导和第二直波导相对于矩形谐振腔对称设置；第一银膜上设有第一圆环形谐振腔，第一圆环形谐振腔内设有第二银膜，第四银膜上设有第二圆环形谐振腔，第二圆环形谐振腔内设有第三银膜；第一圆环形谐振腔和第二圆环形谐振腔相对于矩形谐振腔对称设置。该折射率传感器体积小、灵敏度高、易于集成，能够有效增强灵敏度，提高耦合效率，降低功耗，提高分辨率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 甘肃;62 |
| 申请人： | 西北师范大学 |
| 发明人： | 张雪伟;祁云平;龚韩韩;周培阳;胡兵兵 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820500938.3 |
| 公开号： | CN208206796U |
| 代理机构： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 |
| 代理人： | 周立新 |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01)I;G01D5/26(2006.01)I;G;G01;G01N;G01D;G01N21;G01D5;G01N21/41;G01D5/26 |
| 申请人地址： | 730070 甘肃省兰州市安宁区安宁东路967号 |
| 主权项： | 1.一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔折射率传感器，其特征在于，包括并排设置的第一银膜（1）和第四银膜（9），第一银膜（1）的中部和第四银膜（9）的中部通过连接膜（5）相连接，第一银膜（1）和第四银膜（9）之间并排设置有第一直波导（4）和第二直波导（10），连接膜（5）上设有矩形谐振腔（8），第一直波导（4）和第二直波导（10）相对于矩形谐振腔（8）对称设置；第一银膜（1）上设有第一圆环形谐振腔（2），第一圆环形谐振腔（2）内设有第二银膜（3），第四银膜（9）上设有第二圆环形谐振腔（6），第二圆环形谐振腔（6）内设有第三银膜（7）；第一圆环形谐振腔（2）和第二圆环形谐振腔（6）相对于矩形谐振腔（8）对称设置。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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