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一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法
| 专利名称： | 一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法，该装置包括沿入射光线的主光轴从左到右依次设有起偏臂、检偏臂以及色散型光谱仪；起偏臂包括用于准直的望远系统、线起偏器、消色差四分之一波片以及延迟器；检偏臂包括一块Wollaston棱镜；本发明采用线偏振器、消色差的四分之一波片、延迟器组成的PSG产生完全偏振光，通过作为PSA的Wollaston棱镜得到两幅调制光谱，通过调制光谱间的运算可得含有光谱椭偏参数的双通道干涉强度；实现光谱椭偏参数的实时测量，同时有效抑制通道串扰引入的复原误差并有效提升复原光谱分辨率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安理工大学 |
| 发明人： | 权乃承 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810572081.0 |
| 公开号： | CN108956480A |
| 代理机构： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 |
| 代理人： | 杨洲 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/21 |
| 申请人地址： | 710048 陕西省西安市金花南路5号 |
| 主权项： | 1.一种实时获取光谱椭偏参数的装置，其特征在于，包括沿入射光线的主光轴从左到右依次设有起偏臂、检偏臂以及色散型光谱仪；起偏臂包括用于准直的望远系统(1)、线起偏器(2)、消色差四分之一波片(3)以及延迟器(4)；检偏臂包括一块Wollaston棱镜(5)；检偏臂产生的完全偏振光与被测样品相互作用后偏振态发生变化，通过检偏臂产生的调制光谱包括了三个不同的载频携带了被测光谱椭偏参数，通过色散型光谱仪对调制光谱进行解析。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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