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原文传递 椭偏仪
专利名称: 椭偏仪
摘要: 一种椭偏仪包括:台架;安装在所述台架中的偏振发生器和偏振分析器;以及设置在台上的样品上的聚焦透镜,其中所述样品是待测量的物体,其中所述聚焦透镜的竖直截面是半圆形。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 韩国;KR
申请人: 三星显示有限公司
发明人: 林用賱
专利状态: 有效
申请日期: 2019-05-24T00:00:00+0800
发布日期: 2019-12-06T00:00:00+0800
申请号: CN201910437970.0
公开号: CN110542651A
代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
代理人: 焦立波;周艳玲
分类号: G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 韩国京畿道
所属类别: 发明专利
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