专利名称: | 椭偏仪 |
摘要: | 一种椭偏仪包括:台架;安装在所述台架中的偏振发生器和偏振分析器;以及设置在台上的样品上的聚焦透镜,其中所述样品是待测量的物体,其中所述聚焦透镜的竖直截面是半圆形。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 韩国;KR |
申请人: | 三星显示有限公司 |
发明人: | 林用賱 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2019-05-24T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-12-06T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201910437970.0 |
公开号: | CN110542651A |
代理机构: | 北京德琦知识产权代理有限公司 |
代理人: | 焦立波;周艳玲 |
分类号: | G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |