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一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法
| 专利名称： | 一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法，包括由光源发出的非偏振光，通过固定第一起偏器，变为线偏振光；通过第一磁光调制器，线偏振光被调制；通过固定第二起偏器，出射光变为线偏振光；通过第二磁光调制器，线偏振光被调制；经过待测样品反射，反射光进入第三磁光调制器被调制；然后通过固定检偏器，线偏振光进入光电探测器，记录含有样品薄膜的椭偏参数的光强，采用拟合算法对数据进行处理，精确测量样品薄膜的厚度和光学常数；本发明有效解决了现有方法中采用步进电机机械转动旋转偏振器，测量精度、测量重复性和稳定性均有限的问题，提高了测量速度，检测精度、灵敏度和测量装置的可靠性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 华中科技大学 |
| 发明人： | 王惊雷;王双保 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-20T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910875400.X |
| 公开号： | CN110596012A |
| 代理机构： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 张焕响 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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