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原文传递一种非理想椭偏系统校准方法

专利名称：	一种非理想椭偏系统校准方法
摘要：	本发明提供一种非理想椭偏系统校准方法，包括：获取标准样件在测量系统的多个连续积分采集的光强变化信息，归一化后得到标准样件的测量归一化光强信息；基于测量归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，系统参数中考虑了光谱仪采集间隔时间；获取待测样件的光强变化信息，归一化后得到待测样件的测量归一化光强信息；根据待测样件的测量归一化光强信息和测量系统的系统参数，计算待测样件的穆勒矩阵。本发明通过校准光谱仪采集信号间隔参数，并将采集信号间隔参数带入光学测量，从而提高光学系统的校准与测量精度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉颐光科技有限公司
发明人：	刘亚鼎;陶泽;钟海硕;黄东栋;夏小荣;李竹;李雄
专利状态：	有效
申请日期：	2023-07-22T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202310907919.8
公开号：	CN117030624A
代理机构：	武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	范三霞
分类号：	G01N21/21;G01B11/00;G01B11/06;G;G01;G01N;G01B;G01N21;G01B11;G01N21/21;G01B11/00;G01B11/06
申请人地址：	430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼(自贸区武汉片区)
主权项：	1.一种非理想椭偏系统校准方法，其特征在于，包括：获取标准样件在测量系统的多个连续积分采集的光强变化信息，归一化后得到标准样件的测量归一化光强信息；基于所述测量归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，所述系统参数包括检偏复合波片的相位延迟量、检偏复合波片的方位角、起偏复合波片的相位延迟量、起偏复合波片的方位角、检偏片的方位角、起偏片的方位角以及光谱仪采集间隔时间；获取待测样件的光强变化信息，归一化后得到待测样件的测量归一化光强信息；根据待测样件的测量归一化光强信息和测量系统的系统参数，计算待测样件的穆勒矩阵。 2.根据权利要求1所述的非理想椭偏系统校准方法，其特征在于，基于所述测量归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，包括：构建测量系统模型： Sout＝[MAR(A)]×[R(-ω2t-C2)(2)(2t+C2)]×Ms×[(-ω1t-C1)(1)(1t+C1)]×[R(-)P]×Sin(1)；其中，MS为样件穆勒矩阵，D为光谱仪的探测向量[1,0,0,0],MP、MA为起偏臂以及检偏臂的偏振片穆勒矩阵，ω1、ω2为第一电机与第二电机的转速,M(δ1)以及M(δ2)为起偏复合波片和检偏复合波片的相位延迟量穆勒矩阵，R为旋转矩阵，P、A、C1、C2为起偏片、检偏片、起偏复合波片以及检偏复合波片的初始方位角，Sin为归一化自然光的Stokes向量，δt为光谱仪的采集间隔时间，T为光学周期，N为总采集帧数，Sout为出射Stokes向量，Ii为多个连续积分采集的光强变化信息，i为采集帧数；通过拟合迭代调整式(2)中的检偏复合波片的相位延迟量δ2、检偏复合波片的方位角C2、起偏复合波片的相位延迟量δ1、起偏复合波片的方位角C1、检偏片的方位角A、起偏片的方位角P以及光谱仪采集间隔时间δt，使得计算出的理论归一化光强信息与测量归一化光强信息接近，获取测量系统的系统参数。 3.根据权利要求1或2所述的非理想椭偏系统校准方法，其特征在于，所述根据待测样件的测量归一化光强信息和测量系统的系统参数，计算待测样件的穆勒矩阵，包括：根据待测样件的测量归一化光强信息和测量系统的系统参数，基于式(5)计算待测样件的穆勒矩阵： Ms＝function(I,A,P,C1,C2,δ1,δ2,δt) (3)；其中，I为待测样件的测量归一化光强信息。