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一种二维材料层数快速识别方法及设备
| 专利名称： | 一种二维材料层数快速识别方法及设备 |
| 摘要： | 本发明公开了一种二维材料层数识别方法，首先，将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面，探测得到反射光偏振信息，进而得到椭偏参数；然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面，探测得到出射光偏振信息，得到椭偏参数；最后由上述测量数据计算得到椭偏参数的对比度，将仿真得到的对比度曲线峰值理论值和实测值进行比较，判断二维材料的有无和层数。该方法可以实现对二维材料层数的快速识别，原理简单，易于操作。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 华中科技大学 |
| 发明人： | 谷洪刚;祝思敏;刘世元;宋宝坤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810073550.4 |
| 公开号： | CN108267449A |
| 代理机构： | 华中科技大学专利中心 42201 |
| 代理人： | 李智;曹葆青 |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/84 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |
| 主权项： | 1.一种二维材料的层数识别方法，其特征在于，根据选定的入射光波长λ的波长范围确定布鲁斯特角范围，将入射角θ设定为布鲁斯特角，通过仿真得到不同层数的目标二维材料样品在布鲁斯特角范围内的椭偏参数的理论对比度 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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