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一种显微共振激光诱导击穿光谱检测系统
| 专利名称： | 一种显微共振激光诱导击穿光谱检测系统 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种显微共振激光诱导击穿光谱检测系统，包括：波长可调谐激光器发射波长可调谐的激光束；比例分束镜将激光束分成两束，得到第一激光束和第二激光束；第一反射率可调滤光片接收第一激光束并调节其能量在第一范围后将其射入聚焦镜，聚焦镜将能量调节后的第一束激光束聚焦并射入样品；第二反射率可调滤光片接收第二激光束并调节其能量在第二范围后将其射入传输光程调节模块；传输光程调节模块用于控制能量调节后的第二激光束的传输光程，使其与第一激光束到达样品表面的时间产生纳秒量级的延时，对待分析元素进行共振激发。本实用新型对一束激光分束，并引入光束延时使两光束延时可调，将显微聚焦与共振激发技术有机结合。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 华中科技大学 |
| 发明人： | 郝中骐;汤志阳;李祥友;周冉;郭连波;曾晓雁;陆永枫 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820914664.2 |
| 公开号： | CN208224086U |
| 代理机构： | 华中科技大学专利中心 42201 |
| 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 分类号： | G01N21/39(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/39 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |
| 主权项： | 1.一种显微共振激光诱导击穿光谱检测系统，其特征在于，包括：波长可调谐激光器、比例分束镜、第一反射率可调滤光片、聚焦镜、第二反射率可调滤光片、传输光程调节模块、显微聚焦物镜以及光谱采集检测模块；波长可调谐激光器发射波长可调谐的激光束；比例分束镜用于将所述激光束分成两束，得到第一激光束和第二激光束；第一反射率可调滤光片接收第一激光束并调节其能量在第一范围后将其射入聚焦镜，第一激光束能量的第一范围根据样品激发特性确定，以能够激发样品产生处于等离子体激发阈值附近的低密度蒸汽为准；聚焦镜用于将能量调节后的第一束激光束聚焦并射入样品，使其作用于样品产生处于等离子体激发阈值附近的低密度蒸汽，所述第一激光束聚焦后的焦点位于样品表面的下方；第二反射率可调滤光片接收第二激光束并调节其能量在第二范围后将其射入传输光程调节模块，第二激光束能量的第二范围以可以对样品共振激发的前提下对样品损伤达到最小为准；传输光程调节模块用于控制能量调节后的第二激光束的传输光程，使其与第一激光束到达样品表面的时间产生纳秒量级的延时；显微聚焦物镜接收传输光程调节模块输出的第二激光束，并对其聚焦后射入样品，当激光束的波长调谐至与样品中待分析元素谱线能级相匹配时，可对待分析元素进行共振激发；光谱采集检测模块用于采集待分析元素共振激发后形成的等离子体对应的特征谱线，以检测样品中待分析元素的含量。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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