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一种检测消影等级的装置及其控制方法
| 专利名称： | 一种检测消影等级的装置及其控制方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测消影等级的装置及其控制方法，该装置，包括：光源，位于光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与光谱检测器电信号连接的控制器；其中，光学元件，用于将光源出射的光线入射至图案区，并将图案区的反射光入射至光谱检测器，以及将光源出射的光线入射至沟道区，并将沟道区的反射光入射至光谱检测器；光谱检测器，用于检测图案区的反射光的光坐标，并将图案区的反射光的光坐标发送至控制器，以及检测沟道区的反射光的光坐标，并将沟道区的反射光的光坐标发送至控制器；控制器，用于根据图案区和沟道区的反射光的光坐标，确定待测基板的消影等级。该装置实现了宏观现象的数据体现，可以准确的得到待测基板的消影等级。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 发明人： | 阳清;孟庆超;杨文娟;谈宜川;马力;王若鹏;尹奇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810101455.0 |
| 公开号： | CN108303373A |
| 代理机构： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
| 代理人： | 郭润湘 |
| 分类号： | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/27(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/27 |
| 申请人地址： | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |
| 主权项： | 1.一种检测消影等级的装置，其特征在于，包括：光源，位于所述光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与所述光谱检测器电信号连接的控制器；其中，所述光学元件，用于将所述光源出射的光线入射至待测基板的图案区，并将所述图案区的反射光入射至所述光谱检测器，以及将所述光源出射的光线入射至所述待测基板的沟道区，并将所述沟道区的反射光入射至所述光谱检测器；所述图案区为具有透明材料的区域；所述光谱检测器，用于检测所述图案区的反射光的光坐标，并将所述图案区的反射光的光坐标发送至所述控制器，以及检测所述沟道区的反射光的光坐标，并将所述沟道区的反射光的光坐标发送至所述控制器；所述控制器，用于接收所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，并根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定所述待测基板的消影等级。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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